MBE 是什么？

MBE有5个意思。

1，分子束外延

分子束外延是一种新的晶体生长技术，简记为MBE。分子束外延主要研究的是不同结构或不同材料的晶体和超晶格的生长。该法生长温度低，能严格控制外延层的层厚组分和掺杂浓度，但系统复杂，生长速度慢，生长面积也受到一定限制。

2，物料平衡方程

物料平衡方程，简称物料平衡(material balance equation) 用MBE表示。在一个化学平衡体系中，某一给定物质的总浓度，等于各种有关形式平衡浓度之和。

3，瑞士MBE公司

瑞士MBE公司，专业生产O2传感器和分析仪的厂家，该公司的传感器和分析仪广泛应用于食品、生物、环保、发电等领域和行业。另外，MBE公司还生产高质量的CO2和CH4分析仪。

4，大英帝国勋章员佐勋章

大英帝国勋章的第5级：员佐勋章（Member），简称“MBE”。 员佐勋章人数虽不设限额，但在每年授勋的人数不可多于1464位。

5，生物工程硕士

生物工程硕士，英文全称 Master Of Biotechnology Engineering ，简称MBE。生物工程硕士是由国务院学位办批准的专业工程领域，是运用生物学、化学和工程学等学科相结合的方法，利用生物体制造人类所需产品、改造生态系统和环境的应用技术领域。

扩展资料：

分子束外延是50年代用真空蒸发技术制备半导体薄膜材料发展而来的。随着超高真空技术的发展而日趋完善，由于分子束外延技术的发展开拓了一系列崭新的超晶格器件，扩展了半导体科学的新领域，进一步说明了半导体材料的发展对半导体物理和半导体器件的影响。

分子束外延的优点就是能够制备超薄层的半导体材料；外延材料表面形貌好，而且面积较大均匀性较好；可以制成不同掺杂剂或不同成份的多层结构；外延生长的温度较低，有利于提高外延层的纯度和完整性；利用各种元素的粘附系数的差别，可制成化学配比较好的化合物半导体薄膜。

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蓝宝石上两步法生长GaN：

1）高温衬底清洗

在1000℃左右的高温下，将氢气通入反应室，能去除蓝宝石衬底表面的污染物，并在衬底表面形成台阶结构，提高GaN的结晶质量。

2）衬底表面氮化

生长GaN成核前，在低温或高温下预先将NH3通入，令蓝宝石衬底表面氮化，有利于形成成核中心，增加GaN成核层和衬底的粘附，提高GaN的表面形貌，但是长时间的氮化则会导致氮化层由多晶转变成单晶，从而形成密度较高的表面凸状结构。

3）成核层生长，厚度10~100nm

常用的成核层是低温500~650S℃ GaN或低温AlN。低温生长的成核层表面连续而且比较光滑，但是缺陷多。以2D层状模式生长。

4）退火和成核层表面重构

当低温成核层生长完成后，温度上升到外延层生长温度的过程对成核层具有高温退火作用。

5）GaN外延层高温生长和降温

外延层的生长温度对GaN外延的质量影响很大，温度通常为1000~1100℃。高生长温度下抑制GaN分解需高N2分压，生长完成后，往往需要在NH3气氛中降温。

分析认为，在高温GaN生长的初始阶段，以低V/III比提高横向生长速率可以增大3D成核岛的尺寸、减少岛的密度，有利于实现岛间合并，转为准二维的生长模式。

在普及一下MOCVD设备：

MOCVD是1968年由美国洛克威公司的manasevit等人提出制备化台物单晶薄膜的一项新技术，到80年代初得以实用化。从定义上来看，MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。在金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术中，反应气体在升高的温度下在反应器中结合以引起化学相互作用，将材料沉积在基板上。在MOCVD中，将超纯气体注入反应器中并精细计量以将非常薄的原子层沉积到半导体晶片上。含有所需化学元素的有机化合物或金属有机物和氢化物的表面反应为晶体生长创造条件，形成材料和化合物半导体的外延。不同于传统的硅半导体，这些半导体可以包含的组合III族和V族，II族和VI族，IV族或第IV族，V和VI族的元素。

据立木信息咨询消息，全球MOCVD市场的复合年平均增长率将在2021年之前增长到14%，市场规模将从2016年的6.148亿美元增加到2021年的11.628亿美元。

目前，美国的Veeco、德国AIXTRON、日本的NIPPON Sanso和Nissin Electric是起步较早的MOCVD设备供应商。但由于日本对MOCVD设备实行出口限制政策，因此，全球MOCVD市场基本被Veeco和AIXTRON垄断。同时，这两家MOCVD设备公司还一致预测，2022年全球将有250台左右量产型机台专门生长VCSEL所需外延片，达到当前全球LED市场所需MOCVD机台数的1/6左右。

同时也有消息称，现阶段台湾外延厂商在技术上已经具备生产4英寸和6英寸的能力。大陆方面，我国涉足MOCVD设备的企业也在不断增多，其中，中晟光电、广东昭信、中微半导体等企业已经取得了一定成果。

2017年，中微半导体宣布，其MOCVD设备Prismo A7机型出货量已突破100台，迈向重要里程碑，包括三安光电和华灿光电等设备可容纳多达4个反应腔，同时加工136片4吋磊芯片，由于持续接到新订单，中微预计2017年底可望出货约120台MOCVD设备。

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