磁控溅射靶材中毒是什么原因,有何现像?如何避免?

靶材中毒主要原因是介质合成速度大于溅射产额（氧化反应气体通入太多），造成导体靶材丧失导电能力，只有提高击穿电压，才能起辉，电压过高容易发生弧光放电。现象：靶电压长时间不能达到正常，一直处于低电压运行状态，并伴有弧光放电；靶表面呈现白色附着物或密布针状灰色放电痕迹。若要彻底杜绝靶中毒，必须用中频电源或射频电源代替直流电源；减少反应气体的通入量、提高溅射功率，清理靶材上的污染物（特别是油污）、选用真空性能好的防尘灭弧罩等方法均可有效防止靶中毒现象的发生。靶材内冷却水浸泡的磁铁,有污渍，只要磁场强度足够，冷却效果良好，对靶材影响不大。

我碰到过一次氮化钛靶材打磨后，表面是一片黑，感觉是那些小黑点被磨平了，然后溅射一个小时打掉表面那层，这时候靶材表面比较干净，但再溅射做样品，表面又逐渐出现小黑点，电阻率比刚买回来的时候高一倍左右；

氮化钛跑道发黑，表面晶粒粗糙：出现的原因

1.靶温度太高，冷却不够。

2.溅射气份不纯，如真空度不好，靶体微漏，充气参杂。

如都不是，需充氮气尝试。

3.也可能是铟焊化了漏出来了，污染了靶材表面。

希望能帮到你。

有靶材中毒的说法，但是靶材中毒指的是靶材受到外界环境影响或者遇到氧化物等致使靶材不能导电等正常使用，不是说靶材对人体有毒。一般靶材对人没有毒的，个别化合物靶材可能对人体接触面有伤害，接触的时候注意隔离。

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