半导体传感器是一种新型半导体器件,它能够能实现电、光、温度、声、位移、压力等物理量之间的相互转换,并且易于实现集成化、多功能化,更适合于计算机的要求,所以被广泛应用于自动化检测系统中。由于实际的被测量大多数是非电量,因而传感器的主要工作就是将非电信号转换成电信号。
催化燃烧型气体探测器
用以监测周围空气中可燃气体从0~100%LEL范围内的变化。该传感器采用催化燃烧技术,传感器可在现场更换。催化燃烧型传感器对于种类繁多的可燃性气体有敏锐的反应。该技术对于可燃性气体具有普遍适用性。传感器经特殊设计有防中毒功能,能在多数工业环境中可靠工作五到十年。
半导体废气处理废气介绍:由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。
废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。
处理方法:依据这些废气的特性,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,可采取以下综合处理方法:1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统
欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
评论列表(0条)