半导体imc是什么意思

半导体imc是什么意思,第1张

在半导体封装领域,铜线正在日益取代金线作为引线材料。IMC (Cu/Al 金属间化合物)测量是测试铜线Bonding 的可靠性、导电性的重要手段,以确保芯片能够正常工作。

IMC 测量软件是基于Image-Pro Plus7.0平台开发的高度自动化的IMC 测量专用软件,只需简单步骤就可以准确完成图像采集、IMC 测量以及数据输出工作,减少人为误差, *** 作简单、高效。

IMC 测量常用的显微镜为金相显微镜,50X 物镜,反射式照明。

专门针对IMC 测量开发的软件界面,没有多余的按钮,功能按钮清晰简洁,不需要繁琐的培训。

IMC 测量软件的边缘自动提取工具可以快速自动提取球区域面积,颜色吸管工具可以分离出球区域内的非IMC区域,并给出计算结果。

IMC 测量的结果图像和数据可以自动保存到指定的文件夹中。

IMC工艺(Intermittent Multi-Cyclic——间歇多循环)属于SBR工艺范畴,与SBR的区别主要在于 *** 作方式的改进。IMC法具有以下特点:① 工艺简单,调节池容积小或可不设调节池,不设二次沉淀池,无污泥回流;② 投资省,运行费用低;③ 反应过程基质浓度梯度大,反应推动力大,处理效率高;④ 耐有机和有毒物质负荷冲击能力强,运行方式灵活,静止沉淀,出水水质好;⑤ 采用间歇曝气,使池内产生缺氧、厌氧和好氧过程并交替进行,实现硝化、反硝化,达到脱氮除磷的目的,泥龄短且活性高。

在IMC工艺运行的不同阶段进行BOD的去除、硝化、反硝化及吸收磷等反应。该工艺在前段增加了NaOH、甲醇以及磷营养液的投加,为系统的硝化、反硝化提供了必要的条件。

坑试验怎么做?附详解!在半导体封装工艺中,d坑试验是用来评估键合参数以及键合可靠性的。键合工艺使用的材料一般是金线,铜线或铝线,其中铝线一般是在大功率的产品中使用,铜线在解决了可靠性的问题之后应用也越来越多。d坑试验数据能够指导工艺工程等部门进行工艺设计改进,优化。FA 在进行这种分析时,针对不同的产品类型,一般采用什么样的方法呢?本文介绍几种常见的方法。

1. 铝 (Al bond pad)+ 金线键合(Au wire bond) 目的:分离金球(bond ball)与bond pad,用于检查分析 IMC 和bond pad 试剂:10% NaOH溶液 温度:室温 腐蚀时间:约5分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是利用铝的两性,通过碱性溶剂把金球和bond pad之间的铝层溶掉,最终把bond pad和金线分离出来,用于检查分析。在腐蚀铝层时,金线不会被腐蚀掉。溶液浓度可根据产品特点进行调整,也有用氢氧化钾的,但不宜用高浓度的碱进行腐蚀,需要控制好时间,否则会对芯片造成损伤。

2. 铝 (Al bond pad)+ 金线键合(Au wire bond) 目的:检查bond pad,不关注bond ball 试剂:碘化钾,单质碘,纯水, KI : I2 : DI =115g : 65g : 100g 温度:室温 腐蚀时间:10分钟~15分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是直接把金溶掉,最终把bond pad暴露出来进行检查分析,在腐蚀金的同时,bond pad上面的铝层也会被腐蚀掉。 特点是对金的腐蚀速率较快,缺点是腐蚀不掉的残留物有时较难去除干净。当然去除金的方法还有多种,比如王水,汞等,但王水的氧化性太强,对很多材料都有腐蚀性或者负面影响,汞属于毒性很强的物质一般也不常用,在冶金上面会用于提取金。

3. 铝 (Al bond pad)+ 铜线键合(Cu wire bond) 目的:分离铜球(bond ball)与bond pad,用于检查分析 IMC 和bond pad 试剂:10% NaOH 温度:室温 腐蚀时间:约5分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是用氢氧化钠溶解铝层,但氢氧化钠不会腐蚀铜线,最终可以把bond pad和铜线分离出来,可以检查bond pad和IMC,与金线IMC检查的方法一样。

4. 铝 (Al bond pad)+ 铜线键合(Cu wire bond) 目的:溶解铜线,用于检查分析 bond pad,不需要保证铜线的完整性 试剂:发烟硝酸 温度:室温 腐蚀时间:30秒~ 1分钟 (取决于样品) 这时可以进行bond pad的检查,此时铝层还在pad上,如果需要进一步把铝层去除,可以接着做下面一步: 试剂:HCL (37% ) 温度:50 °C 腐蚀时间:1分钟~ 3分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是用发烟硝酸直接溶解铜线,但由于铝具有钝化作用而得以保留,该方法分两步分别把铜线和铝层溶解掉,可以检查bond pad的铝层形貌以及去掉铝层后的芯片pad。


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