半导体刻蚀氨气的作用

其实家庭中的氨气主要还是来自于建筑施工中使用的混凝土外加剂，也可来自室内装饰材料，比如家具涂饰时所用的添加剂和增白剂大部分都含有氨水。特别是在冬季施工过程中，在混凝土墙体中加入的尿素和氨水为主要原料的混凝土防冻剂，这些含有大量的外加剂在墙体中随着温湿度等环境因素的变化而还原成氨气从墙体中缓慢释放出来，造成室内空气中氨的含量大量增加。 虽然这种污染释放期比较短，不会在空气中大量积存，但对人体的危害相对小一些，但也应引起大家的注意。说道氨气，第一反应就是很臭，我们家庭中洗手间是氨气浓度最高的地点，其实家庭中的氨气来源并不只是洗手间那么简单，首先我们先来了解一下氨气的性质，氨是一种无色 而具有强烈刺激性臭味的气体，氨气的溶解度极高，所以常被吸附在皮肤黏膜和眼结膜上，从而产生刺激和炎症。它对接触的组织都有腐蚀和刺激作用。可以吸收组 织中的水分，使组织蛋白变性，并使组织脂肪皂化，破坏细胞膜结构。

氨气对人体有一定的危害性，但我们不能忽视的的作用之大。首先我们详细了解下高纯氨气的性质高纯氨气是无色，有毒，碱性、强腐蚀性的可燃气体，带有刺激性气味，高浓度对眼，皮肤和黏膜有刺激。氨气的密度比空气小，在标准状况下的密度为0.7081g/L。氨气极易溶于水，在常温，常压下，一体积的水中能溶解700体积的 氨气。 液氨21.1°C的饱和蒸气压为7.78 kgf/cm2。采用40L钢瓶、43LDOT钢瓶Y罐或槽车灌装。高纯氨主要应用于新型光电子材料领域，是MOCVD技术制备GAN的重要基础材料。由GAN生产高灵敏度蓝光发光二 级管和蓝光激光器，以及其它相关电子器件，是国内外都在抢占的产业。高纯氨还是制备三氟化氮、氮化硅、的基础材料，是生产超高级氮的原料气。此外，液氨广 泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。

氨水为混合物，氨气溶于水与水反应生成一水合氨，这是个可逆反应，氨气会有一部分不参与反应，而且生成的一水合氨为弱电解质，在溶液中存在电离平衡，可以理解为一水合氨还有一部分会分解成铵根离子和氢氧根离子（虽然反应很弱，但依然存在）铵根离子在溶液中也会水解，生成一水合氨和氢氧根离子，然后再根据一水合氨的电离常数来判断两个反应的剧烈程度。

高纯氨气是无色，有毒，碱性、强腐蚀性的可燃气体，带有刺激性气味，高浓度对眼，皮肤和黏膜有刺激。氨气的密度比空气小，在标准状况下的密度为0.7081g/L。氨气极易溶于水，在常温，常压下，一体积的水中能溶解700体积的 氨气。 液氨21.1°C的饱和蒸气压为7.78 kgf/cm2。采用40L钢瓶、43LDOT钢瓶Y罐或槽车灌装。

高纯氨主要应用于新型光电子材料领域，是MOCVD技术制备GAN的重要基础材料。由GAN生产高灵敏度蓝光发光二 级管和蓝光激光器，以及其它相关电子器件，是国内外都在抢占的产业。高纯氨还是制备三氟化氮、氮化硅、的基础材料，是生产超高级氮的原料气。此外，液氨广 泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。

电子气体

气体工业名词，半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI(大规模集成电路)级，VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。

近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳"有价无货"时代也宣告结束，高纯氯化氢已成功打开国内市场。

电子气体(Electronicgases)是超大规模集成电路、平面显示器件，化合物半导体器件，太阳能电池，光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的电子气体。电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同，一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。

---