半导体废气怎么处理?半导体废气治理有哪些好办法?

半导体废气怎么处理?半导体废气治理有哪些好办法?,第1张

√ 楼主您好,根据您提出的问题,下面为您做详细解答:

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。

半导体废气治理办法

半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法,又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而达到大气排放标准,故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

希望此次回答对您有所帮助!

半导体的排放物,比如说像一些有毒有害的废水呀之类的吧。半导体产品一般需要在表面镀金属氧化物的薄膜

比如我以前所在的太阳能电池厂就是在二氧化硅板上镀一层氧化锌

锌还好点,要是用汞、镉之类的重金属

污染严不严重就不用说了

几十mg/L左右。

半导体生产废水中的金属离子种类很多,主要有铜、镍、锡、铅、银等,一般浓度在几十mg/L左右。

半导体知识产权泛指FABIP,也即Fab+intellectualproperty源于Fab是集成电路的制造业产业链源头,Fab专注于晶圆的生产制造,而Fabless专注于Chip的设计,这就是分工。


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