半导体后固化烤箱需要通氮气吗

需要。

烘烤固化可以在烤箱内进行，在烘烤前先将烤箱内通入氮气或者氦气等保护气体。

半导体用氮气烤箱循环风道性能和加热的结构设置有别于普通烘箱，设备装有氮气装置，有进口氮气流量计，能更准确的控制氮气的流量进入到箱体内。

氮气是保护气体，防止工艺过程中发生氧化，主要是在合金烧结时或者高温导热胶固化时应用，氢气有还原性，可以使氧化层还原，但是氢气有一定危险性，我知道用得较多的是氮氢混合气体，这样安全些，二氧化碳，这个不了解压缩空气，主要是用在工艺过程中，比如工作台的吸附，一些设备必须有压空才能工作。了解得不多，希望有帮助

氮气，化学式为N₂，为无色无味气体。

氮气化学性质很不活泼，在高温高压及催化剂条件下才能和氢气反应生成氨气；在放电的情况下才能和氧气化合生成一氧化氮；即使Ca、Mg、Sr和Ba等活泼金属也只有在加热的情形下才能与其反应。

氮气通常状况下是一种无色无味的惰性气体，而且一般氮气比空气密度小。氮气占大气总量的78.08%（体积分数），是空气的主要成份之一。在标准大气压下，氮气冷却至-195.8℃时，变成无色的液体，冷却至-209.8℃时，液态氮变成雪状的固体。

氮气的用途：

(1)金属加工：光亮淬火、光亮退火、渗氮、氮碳共渗、软碳化等热处理的氮气源；焊接、粉末冶金烧结过程的保护气，在新材料的研制和稀土永磁材料等生产过程的保护气体等。

(2)电子工业：锂电池，大规模集成电路，LED和LCD电视机的显像器件，彩电显像管，光伏器件、触摸屏、云计算、物联网等各种新型电子元器件以及半导体元件的处理和生产过程的氮气源。

(3)冶金工业：连铸、连轧、钢材退火过程的保护气；转炉顶底复合吹氮炼钢，转炉炼钢的密封，高炉炉顶的密封，高炉炼铁煤粉喷吹用气等。

(4)食品保鲜：粮食、水果、蔬菜等的充氮贮藏与保鲜；肉类、乳酪、糕点、榨菜、茶叶及咖啡等的充氮保鲜包装；果汁、生油及果酱等的充氮排氧保鲜；各类瓶酒的净化与覆盖等。

(5)医药工业：新医药的研制过程的气体保护，中药(如人参)的充氮贮藏与保鲜；西药针剂充氮；贮藏及容器的充氮；药料气动输送的气源等。

(6)化学工业：置换、清洗、密封、检漏、干法熄焦中的保护气；催化剂再生、石油分馏、化纤生产等用气。

(7)化肥工业：氮肥生产过程的置换、密封、洗涤、保护触媒等用气。

(8)塑料工业：塑料粒子的气动传输；塑料生产及贮藏中的防氧化等。

(9)橡胶工业：橡胶的包装、贮存；轮胎生产和充氮轮胎等。

以上内容参考：百度百科-氮气

---