请问二氧化硅、氮化硅和磷原子在半导体制造中的作用分别是什么?

请问二氧化硅、氮化硅和磷原子在半导体制造中的作用分别是什么?,第1张

如果想了解这些知识首先要知道半导体制造中最重要的最基础的是PN结,晶体管、MOS管都是以此为基础制造出来的。而p作为掺杂剂,用于形成n型半导体。二氧化硅主要是做掩蔽膜。氮化硅本身就是半导体,既可以做掩蔽膜又可以做异质结,作为第三代半导体,它有很大的发展潜力

磷有三种同素异形体白磷,红磷,黑磷 。其中,白磷、红磷不导电,这是常见的磷的形态,因此一般说磷不导电的 。但是黑磷(不常见)有类似石墨的结构,因此可以导电。黑磷(金属磷):黑色有金属光泽的晶体,在磷的同素异形体中反应活性最弱,在空气中不会点燃。化学结构类似石墨,因此可导电。化学式一般写为P。在半导体中采用的磷为黑磷。


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