1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

十万级无尘室如何装修，湖南纯臻净化工程为您解答！

十万级无尘车间装修——板材的安装

1 墙板和吊顶板在安装之前应对板材的材料、品种、规格尺寸、性能以及夹芯板的芯材进行检查、核实是否能满足设计要求；必要时对抽样进行性能测试（耐火性、安全无毒性、抗弯强度等性能）。

2 墙板和吊顶板在安装之前应对吊顶上、夹墙内已施工完毕的隐藏工程进行验收，并达到合格要求，方能进行墙板和吊顶板的施工。

3 吊顶板和墙板在安装时高效过滤器送风口、灯具、感温感烟元件、扬声器以及门、窗、管道的穿板处，其洞口周围要平整、严密、清洁、不产尘，其缝隙应用不燃材料封堵；检查口的周边也要很好的密封。

4 吊顶板和墙板的板缝应均匀一致，板缝的间隙误差应不大于0.5 mm，板缝应用密封胶均匀密封，密封处应平整、光滑、略低于板面。

5 墙板安装应垂直，吊顶板安装应水平，板面平整，位置正确，墙与地、墙与顶、墙与墙、顶与顶之间的交接处应有合理的结构，保证密封，防止开裂，拐角处宜为圆角。

6 板材安装的垂直度≤1.5 mm，表面平整度≤1.5 mm，板与板之间，接缝处的高低差≤1.0 mm。

7 板材安装后应进行保护防止碰撞破坏板面。

8 板材表面应平整、光滑、色泽一致，板材表面的保护膜应完好无损，交工前再撕膜。

十万级无尘车间装修——净化设备的安装

(1）根据洁净广房中产品生产的需要和人员净化、物料净化等要求，－般设置有各种类型的净化设备。各类净化设备与无尘车间的围护结构相连时，其接缝必须密封。

(2）风机过撞单元（FFU、FMU空气净化设备）的安装，一般应做到如下要求。

FWU装置应在清洁的现场进行外观检查，目测不得有变形、锈蚀、潦膜脱 落、拼接板破损等现象。

•在FFU风机过滤单元的高效过滤器安装前应进行检漏，合格后才能进行安装。方向安装必须正确，安装后的风机过滤单元应便于检修。

·安装后的风机过撞单元，应保持整体平整，与吊顶衔接应良好。风机箱与过滤器之间 的连接、风机过撞器单元与吊顶框架之间均应设有可靠的密封措施。

·风机过滤单元在进行系统试运转时，必须在避风口加装临时中效过滤器。

(3）带有风机的气闸室、风淋室与地面间应设置隔振垫；安装时应按产品说明要求，做 到平整并与无尘车间围护结构间配合正确，其接缝应进行密封。

(4）机械式余压阔的安装，阀体、阅板的转轴均应水平，允许偏差为 211 000。余压阔 的安装位置应符合设计要求，一般设在室内气流的下风侧，并不应在工作面高度的范围内。

(5）传递窗的安装应符合设计图纸和产品说明书的要求，安装应牢固、垂直，与墙体的 连接处应进行密封。

(6）洁净层流罩的安装店做到如下要求。

·应设有强立的吊杆，并设有防晃动的固定措施。

Ill000，高度的允许偏差为±1.0mm。

·层流罩安装的水平度的允许偏差1/1000，高度的允许偏差为±1mm

·当层流罩安装在吊顶上时，其四周与顶棚之间应设有密封和隔振措施。

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