tmah是什么化学名称

四甲基氢氧化铵是一种化学物质，分子式是C4H13NO。有毒性，通过皮肤接触或者吸入会抑制呼吸肌肉群，造成呼吸肌肉停止，导致吸入者脑部缺氧死亡。目前(2020-3-24)无解药。简介：无色结晶（常含三、五等结晶水），极易吸潮，有一定的氨气味，具有强碱性，在空气中能迅速吸收二氧化碳，形成碳酸盐为有机强碱，具有较强的腐蚀性。通常制10%、25%的水溶液，含5分子结晶水的四甲基氢氧化铵为无色潮解性针状结晶，熔点62~71℃，沸点120℃，加热到沸点时易分解成三甲胺、二甲醚(90%)和甲醇(5%)。物化性质蒸气压：17.5 mm Hg ( 20 °C)储存条件 2-8°C稳定性：稳定的，易燃。不相容的是具有较强氧化剂，如强大的氨基酸。不可与铝，碱金属，强氧化剂，酸，酰氯，酸酐，卤素混合。用途1.在有机硅方面，四甲基氢氧化铵作为二甲基硅油，氨基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂，硅橡胶等的催化剂；2.在分析方面，四甲基氢氧化铵作为极谱试剂；3.在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素；4.在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。优点：四甲基氢氧化铵优点是：它具有强碱性，在不超过分解点的温度下稳定。当催化完毕后很容易除掉，不留任何残渣。对有机硅产品无污染。因此又称为“暂时催化剂”，在分析中可用于极谱试剂用来沉淀不含灰粉的许多元素的氢化物。包装：塑料瓶、塑料桶。正胶显影工艺中主要用的显影液是四甲基氢氧化铵(Tetramethylammonium Hydroxide, TMAH)，NTD显影液是乙酸正丁酯(n-Butyl Acetate, nBA)TMAH水溶液的主要成分是水，占99%以上。它被广泛用于光刻工艺中的显影。不管是I-线、248nm、193nm、193nm浸没式或是EUV，都是使用TMAH水溶液做显影液。有时为了避免光刻胶线条的倒塌，还可以在TMAH水溶液中添加很少量的表面活化剂。一般来说，一个Fab生产线只使用一种显影液，显影液通过管道输送到每一个匀胶显影设备，又叫做厂务集中供应(bulk delivery) 随着光刻线宽和均匀性的要求越来越高，光刻界也试图改变现有的TMAH显影液。例如，使用6.71 wt%的TBAH (tetrabutylammonium hydroxide)水溶液作为显影液。初步的实验结果显示，TBAH能够减少显影时光刻胶的膨胀并使得光刻胶图形表面更加不亲水，能有效地减少线条的倒塌。而且，TBAH比TMAH有更高的显影灵敏度。从20nm技术节点开始，负显影技术(Negative Tone Develop, NTD)被广泛用于关键层的光刻。负显影技术中的关键材料是显影液以及显影后的冲洗液。它们不再是TMAH和去离子水，而是特殊设计的有机溶剂。光刻胶在显影液中的溶解行为与光刻胶的灵敏度以及最终图形的边缘粗糙度都有关联。使用高速原子力显微镜(High Speed Atomic Force Microscopy, HS-AFM)可以原位(in-situ)观察显影时图形形成的过程

姓名： 姚素英

性别： 女

出生年月： 1947年04月

籍贯： 河北省

职称： 教授，博导

邮编： 300072

办公室电话： 27890832

手机： 81125362

家庭电话：

EMAIL： [email protected]

单位： 电子信息工程学院，电子技术系

研究方向1： 专用集成电路（ASIC）设计

研究方向2： 半导体传感器及其集成系统设计（IC与MEMS结合）

研究方向3： VLSI测试、可测性设计与微电子可靠性研究

简介：

1965年到1970年 天津大学 大本 1970年毕业至今， 天津大学电子信息工程学院 ，始终从事微电子技术专业教学与科研工作。现任天津大学电子信息工程学院教授、博士生导师、天津大学ASIC设计中心主任。兼任中国电子学会半导体与集成技术分会委员、天津市集成电路设计技术培训中心主任、天津市集成电路设计公共孵化平台负责人。1997年至今任教授、2001年被聘为博导。2002年9月至2003年1月曾受国家留学基金委委派到美国德克萨斯大学奥斯汀分校（UT）做高级访问学者。

长期从事微电子教学与科研工作，培养博、硕研究生；指导博士后（已出站一名），曾获摩托罗拉奖教金。先后主持或参加国家八五、九五、国家自然基金和省市级项目。在国内外学术刊物上发表相关论文。硅光电探测器研究已实现商品化，获专利一项。

代表著作：

获专利：硅光电探测器2003年ZL03240699.1

译著：半导体物理与器件(第三版) 电子工业出版社 2005年2月第1次印刷 ISBN:7-121-00863-7

代表性论文：1 多晶硅双岛压力传感器应力分布的模拟计算 电子学报 Vol.27 No.11 EI:00095310277；2 Optimization of power dissipation in pipelined analog-to-digital converter 2004 4期 天津大学学报（英文版）Vol.10 No.4 P280-284 EI:05098865889 ；3高帧频大动态范围CMOS图像传感器时序控制电路的设计与实现2004 11期 电子学报 Vol.32 No.11 P1922--1925 EI:05048806886 ；4 Simulation and Test of a Novel SOI High Temperature Pressure Sensor ICSICT’2004 Beijing ICSICT 2004 VOLUME P1824--1827 EI:05299217792；5 CMOS图像传感器用像素级双采样存储技术 固体电子学研究与进展 2005年3期 EI: 05469477904； 6 Extraction of ULSI interconnect resistance at high frequencies 天津大学学报（英文版）Vol.11 No.3 EI:05329290370 ；7 表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性 2005年 第6期 半导体学报, Vol.26 No.10 pp.2032-2033 EI:05519604671 ；8一种低功耗高精度CMOS动态比较器设计与实现 传感技术学报 2005年 18卷 1期 EI:05409400801 ；9基于CMOS图像传感器中DPGA的电容阵列优化研究 传感技术学报 2005年 18卷 2期 EI: EI05319275711 ；10 油田测井用压力传感器的研制 传感技术学报2004年 17卷 2期 ；11 MOSFET栅下碰撞电离与击穿研究固体电子学研究与进展2004年 24卷 1期；12 多晶硅高温压力传感器的温度特性 西安电子科技大学学报 2002. Vol.29. 1；

13 TMAH在压力传感器制作中的应用 电子科技大学学报 2000年 29卷 6期；EI:01035574678 ；14 SOI单晶硅压力传感器模拟计算与优化设计 传感技术学报2003年

获奖情况：

曾获MOTOROLA奖教金

讲授课程：

主讲本科生课程：半导体物理，Si –SiO2 界面物理，主讲硕士生课程：半导体理论， MEMS理论与设计，VLSI自动测试概论 ，主讲博士生课程：高等半导体理论，MEMS与纳米技术，

正在承担项目：

1 深亚微米千万像素级CMOS图像传感器的研究 2006---2008年 国家自然科学基金 60576025 项目负责人 ；2、天津市创新基金项目：CMOS图像传感器研究与产业化与天津市集成电路设计公共孵化平台建设 2006年开始 项目负责人 3、视频格式转换芯片 2004-2006年 天津市科委 043184511 4、表面波方法研究集成电路互连布线的纳米多孔介质硬度特性 国家自然科学青年基金 60406003 5、高效纳米晶体硅量子点冷电子场致发射显示器件研究 天津市自然科学基金项目043612311

已完成项目：

近五年（2001年1月以来）完成的国家级或省部级科研项目

1 高稳定性高温压力传感器的研究 国家自然科学基金 69876027 2001-12-31 国家自然基金 委 项目负责人 2 高性能视觉半导体光电近代探测器研究 天津市科技攻关项目 023107511 2003年1月 天津市科委 项目负责人 3 高性能大动态范围CMOS图像传感器研发 天津市科委 033183911 2005年8月 项目负责人4 集成电路测试技术研究 天津市外专局引智项目 2003086 2003年 天津市人事局 项目负责人5 天津市集成电路设计技术培训中心 2003---2005年 天津市科委 033188411 项目负责人6 VLSI可测性设计与验证平台建设 2004---2005年 天津市科委 043186911 项目负责人；7 半导体高温SOI压力传感器应用研究 天津市自然科学基金项目033600811； 8新型光电器件的研究与开发 已商品化

生产线事故，伤人事故生产线的事故原因有很多，比如突然断电，正在光刻的晶圆基本上就报废了，什么涂胶的，腐蚀的全都报废。而且生产线只要一停，每分钟的损失都是剧额的，尤其是光刻机。为了曝光稳定，基本从买来到报废都不能关机和断电，中途停下来再开始很多参数就变了伤人事故一般是有毒气体或者易燃易爆气体泄漏引起的爆炸和中毒，什么硅烷，砷化氢，基本上所有用于化学气相沉积CVD的气体都不是什么好东西

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