1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

半导体作为信息产业的物质基础，很多科学家在不断追求提高半导体制造技术和工艺的同时，也渴望这些新技术能够以更快的速度转化为产品，造福我们全人类的生产和生活，这就要求电子半导体的制造商们能够高效率地利用有限的设备进行生产。不过集成电路半导体大部分是晶体硅，我们大家也知道硅其实是一种比较特殊的东西，它不溶于各种强酸和各种弱酸，就只能溶于氢氟酸，而这也就造成了一个现象：当人体吸入硅粉尘的时候，那就很容易就得了尘肺，而且怎么也治不好。

对于此，半导体芯片的生产真是有着非常繁杂的流程，而无尘则是此中非常关键的步骤。目前在一些高端高精密的洁净厂房，对悬浮于空气中的气态分子污染物的要求越来越严，很多企业都对自家的无尘车间采用了严格的防控措施，比如保证人净的措施、保证进入车间物料的净化、保证进入半导体集成电路车间内的空气是洁净的、保证净化空调系统的送风量、按要求保证洁净车间内的正静压值等有效防控措施。

这样的半导体车间，你喜欢了吗？

这些措施确实帮助企业有效保证了半导体车间的洁净度，不过无尘车间运行一段时间后，总免不了在一些死角、壁面、台面上会积存一些尘埃，而且半导体集成电路在生产过程中会接触到很多污染物，当颗粒杂质、无机离子等各种物质的含量超过一定限度时，集成电路产品会出现表面划伤、针孔、脱皮等现象，导致电路泄漏和异常电气特性，轻则影响电路性能和使用寿命，重则导致电路报废。鉴于此，采用深圳赛纳威研发生产获得国家专利的多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统，可有效解决不能实时准确了解集成电路车间内尘埃粒子浓度的问题。

该仪器是深圳赛纳威经过多年的技术积累与创新，基于国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准（JIS）要求标定研发生产的CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器，能够为半导体、柔性显示面板制造提供成熟可靠的7*24实时远程自动监测功能，解决这些行业面临的无尘车间粒子浓度监测的难题。而且CW-RPC系列粒子计数器可根据不同需要增加或减少控制终端，并能通过RJ45网络接口、WiFi、485（moudbus）等，将数据送给PC终端，显示当前监测环境的洁净状况。尤其是这样的一台设备可以连续使用多年，真是可以为企业节省相当可观的开支，并且没有二次污染，亦解决了企业的头疼大事。

赛纳威CW-RPC系列远程粒子计数器

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