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    MEMS行业市场发展及应用前景

    MEMS（微机电系统）是在半导体制造技术基础上发展起来，是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，基于光刻、腐蚀等半导体技术，融入超精密机械加工，并结合材料、力学、化学、光学 等，使一个毫米或微米级别

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    2022-8-6
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