硅片的尺寸

硅片的尺寸,第1张

是指硅片对角长度。

但是你问的问题不对,硅片分为单晶硅片和多晶硅片,你说的方形硅片是多晶硅片,你问的单晶硅片其实四个角是呈圆弧的形状的,所以你算的对角长度应该也不对。如果对多晶硅片的形状不了解的话可以网上搜搜看一下的。

另外6英寸=152.4mm,8英寸=203.2mm

下面是一般单晶硅片的标准:

6″ 153mm≤Φ≤158 mm

6.2″ 159 mm≤Φ≤164 mm

6.5″ 168 mm≤Φ≤173 mm

8″ 203 mm≤Φ≤208 mm

另外因为单晶硅片四个角是弯曲的一个弧形所以又有这样的标准:

弦长(mm)就是弧度的长

6 寸 28.24~31.30

6.5寸 10.93~13.54

8 寸 20.46~23.18

直径(mm)就是对角的长

6 寸 150.0±0.5

6.5 寸 165.0±0.5

8 寸 200.0±0.5

以上答案不知道你理解了没有啊,欢迎再次提问哦!哎呀,打字打的累死了

之所以晶圆都做成圆形,主要的是考虑单位面积利用率和生产问题.

首先硅锭被"拉"出来的时候就一定是圆的,几乎不可能直接获得方的硅锭,除非将圆的硅锭切削成方的,但这样无异于浪费. 比较直径为L毫米的圆和边长为L毫米的正方形,考虑晶圆制造过程中边缘5到8毫米是不可利用的,算算就知道正方形浪费的使用面积比率是比圆型高的.

再则, 很多晶圆生产设备的工艺原理必然要求选择圆型晶圆. 圆型具有任意轴对称性,这是晶圆制作工艺必然的要求,可以想象一下,在圆型晶圆表面可以通过旋转涂布法(spin coating,事实上是目前均匀涂布光刻胶的唯一方法)获得很均匀一致的光刻胶涂层,但其它形状的晶圆呢? 不可能或非常难,可以的话也是成本很高. 当然,还有很多其它的工艺容易在圆型晶圆上实行而很难在其它形状上实施.

当然,我也觉得或许在人们开始规模制作晶圆的时候一开始就用诸如正方型的晶圆的话, 我们现在也可能还在继续发展方型晶圆,只不过现在所有的晶圆加工设备都是为圆型晶圆设计的,这是世界标准.

世界选择圆型,自然是有其必然性的. 看看其后的成本问题就很清楚了.


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