半导体工艺废气如何处理？

√ 楼主您好，根据您提出的问题，下面为您做详细解答：

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

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1 工业废气用吸附剂系列产品

产品 去除气体 形态 大小

Zebent HS 系列 H2S,硫醇及其衍生物 片状 8～10mm

ZeCO CO 片状 1.5～3mm

Zebent NH系列 NH3，胺类化合物 片状 7～10mm

应用领域：去除制造业、焚化炉和半导体、钢铁厂等领域产生的氨、硫化氢、氯化氢、一氧化碳等有害气体。

2 半导体产业废气用吸附剂系列产品

产品 去除气体

Zebent 1 系列 BCl3,BF3,Cl2,F2,HBr,HCl,HF,SiCl4

Zebent 2 系列 SiF4,SiH2Cl2等

Zebent 3系列 SiH4,Si2H6,TEOS,TMB,TMP等

Zebent 4系列 NH3等

Zebent 5 系列 AsH3,PH3,TEM,TEP,TMB,TMP等

Zebent 6 系列 BCl3,BF3,Cl2,F2,HCl,HF等

Zebent 7系列 BCl3,Cl2,ClF3,F2,HCl,SiCl4,SiF4等

Zebent 8 系列 TEB,TEOA,TEOS等

应用领域：用于半导体生产加工过程中产生的毒性及强腐蚀性为期。

3 空气净化用吸附剂系列产品

产品 形态 大小

Zebent DOV-1 系列 片状 3~4mm

Zebent DOV-2 系列 球状 3~5mm

Zebent DOV-3系列 球状 1~5mm

ZeCO-1 片状 1.5~3mm

ZeCO-2 球状 1~5mm

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