复合惯性传感器的工作原理

复合惯性传感器的工作原理

压阻式复合加速度传感器是利用硅半导体材料的压阻效应来实现对线加速度和角加速度的测量,其核心部分是惯性式d性敏感元件的结构,它的结构形式和性能直接决定传感器的性能,本文研制的轮辐式复合加速度传感器d性体是一种整体式结构,如图所示,由经冷加工处理后加工而成,加配适当的阻尼系统,座基及壳体,构成一个压阻式复合加速度传感器.利用d性梁的线性应变响应特性来实现.

图  敏感元件结构原理图
该d性体由四根应变梁和内外轮缘构成,中心基座支撑,外轮缘为质量环$均布质量为,每根应变梁上贴片半导体箔式应变片,平行于轮幅平面的相
对侧面上的+个应变片两两互连组桥构成全桥电路可
敏感线加速度,产生的微应变,垂直于轮幅平面的,个相对侧面的应变片组成的全桥电路可敏感角加速度
产生的微应变,这种整体结构体积小-重量轻,可消除径向效应#在外形尺寸相同的情况下,增加应变梁的长度及将应变梁采用开槽设计,都可提高传感器的灵敏度.

压阻式复合惯性加速度传感器的研究